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Gigaphoton推出加工装置用KrF激光器G200K

本文摘要:前不久,半导体光刻灯源的关键生产厂商Gigaphoton株式宣布,自今年2月刚开始生产仅次键入级200W生产加工设备用KrF激光器G200K。二零一六年,Gigaphoton宣布其充分利用一直以来在半导体光刻行业积累的技术水平成功产品研发出拥有可信性较高的准分子激光器“GIGANEX”系列产品产品,第一代产品公布了朝向FPD生产制造热处理工艺工艺流程的KrF激光器GT600K。本次发布的生产加工设备用KrF激光器GT200K是该系列产品第二代产品。

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前不久,半导体光刻灯源的关键生产厂商Gigaphoton株式宣布,自今年2月刚开始生产仅次键入级200W生产加工设备用KrF激光器G200K。二零一六年,Gigaphoton宣布其充分利用一直以来在半导体光刻行业积累的技术水平成功产品研发出拥有可信性较高的准分子激光器“GIGANEX”系列产品产品,第一代产品公布了朝向FPD生产制造热处理工艺工艺流程的KrF激光器GT600K。本次发布的生产加工设备用KrF激光器GT200K是该系列产品第二代产品。

G200K仅次功率约200W,应用Gigaphoton的激光器特性稳定技术性和控制模块使用寿命减少技术性搭建很高的可靠性,将来可能沦落合乎顾客市场的需求的生产加工设备用激光器。Gigaphoton的老总担任经理浦中恪己答复:“企业的‘GIGANEX’秉持将在半导体光刻用准分子激光器行业长时间积累的关键技术于到别的行业的核心理念研制开发而出,已组成通用化产品。本次开售第二代产品G200K,不断发展了产品主力阵容。企业将来将以后获得‘GIGANEX’的解决方法,为工业界做出广泛奉献。


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